您现在的位置是:休闲 >>正文
ASML要慌:EUV光刻机新光源出现,成本降50%,功耗降80%
休闲14人已围观
简介目前全球仅有ASML一家能够生产EUV光刻机,而制造7nm以下芯片,又必须使用到EUV光刻机,所以ASML相当于卡住了全球先进晶圆厂的脖子。于是ASML推出的1.5亿欧元的标准EUV光刻机,台积电等厂 ...
目前全球仅有ASML一家能够生产EUV光刻机,慌E耗降而制造7nm以下芯片,光刻光源又必须使用到EUV光刻机,机新降功所以ASML相当于卡住了全球先进晶圆厂的出现成本脖子。
于是慌E耗降ASML推出的1.5亿欧元的标准EUV光刻机,台积电等厂商不得不买,光刻光源后来再推出3.5亿欧元的机新降功High NA EUV光刻机,intel们继续买。出现成本
靠着这样不断升级EUV光刻机,慌E耗降ASML赚的光刻光源盆满钵满。
而为了垄断EUV光刻机生意,机新降功ASML将EUV光刻系统上的出现成本众多供应链,捆绑在了自己战车,慌E耗降收购的光刻光源收购,投资的机新降功投资,反正让其它竞争对手,没有合作的机会。
比如蔡司,比如TRUMPF、比如Cymer等,均绑上了ASML战车。
可以说,其它企业,如果想走ASML的路线来造EUV光刻机,基本没戏,除非换一条新道路,才有可能性。
而近日,这条新道路出现了,EUV光刻机中,最重要的EUV光源部分,有了新的解决方案,且新方案,比旧方案,成本更低,功率更高,技术更为先进。
旧方案中,产生EUV光线,是非常麻烦的,方案叫做”激光等离子体EUV光源(EUV-LPP)“,是用二氧化碳激光器,轰击锡金属液滴,将这些锡珠蒸发成等离子体,放射出极紫外线(EUV)了,再通过透镜,对EUV进行收集。
这个过程非常复杂,成本也非常高,同时功率转化率非常低,大约只有3-5%的转化率。所以现在的EUV光刻机都是电老虎,就是因为功率转化率非常低,最终能够使用的功率也低。
而新的方案叫做自由电子激光器(FEL),用这种方案,同样能够生产EUV光源,让来自电子加速器的电子束在波荡器中发光,然后再放大FEL光,得到EUV--FEL光源。
与旧方案相比,一旦成本低多了,不需要锡球,再用二氧化碳激光器来激发,同时功率转化损失也不会非常大。
按照说法,如果采用EUV FEL方案来制造光刻机,EUV光刻机的制造成本降了很多,可能只有原先的一半都不到。
更重要的是,因为功率转化高多了,不像以前只有3-5%,现在可以高达30%以上,后续EUV光刻机也不会成为电老虎,耗电量大大降低,变为原来的五分之一,都有可能。
不仅如此,EUV-FEL还可以升级为BEUV-FEL,产生更短的波长(6.6-6.7 nm),比EUV的13.5nm波长更知,这样分辨率更高,能制造更先进的芯片。
所以很多科学家表示,EUV-FEL光束明显更适合作为EUV光刻机的光源。
目前美国、日本已经有机构在研究这种EUV-FEL技术,按照说法,虽然短时间之内,还无法利用这个技术制造出EUV光刻机,但相信也不会太久了,也许三年、五年就能够制造出来了。
不知道ASML怎么看?一旦这种EUV光刻机面市,那么对整个EUV光刻机生态,将面临大洗牌,那么全球半导体格局都会发生巨大变化,不知道ASML慌不慌?
Tags:
相关文章
马英九参观兵马俑 笑谈秦代美男子
休闲图:4月6日,马英九一行在秦兵马俑一号坑遗址参观。\新华社 6日上午,正在陕西访问的马英九,率台湾青年到访秦始皇陵兵马俑,看着眼前栩栩如生的秦俑,马英九在深感震撼的同时亦频频邀请身边人士为他拍照留念 ...
【休闲】
阅读更多夯实基础/丘成桐:数学落后欧美不可怕 我们有信心做好
休闲图:求真书院院长丘成桐与2023级新生代表开展交流。 “我晓得最近网上批评我的很多,但事实就是事实,我们的数学虽然暂时落后于美国、欧洲,但我们不怕,我们有能力和决心更快速地成长。”6月9日,在第 ...
【休闲】
阅读更多女生私密「小花瓣」形状到底什么样,才算正常
休闲“下面的'小花瓣'形状不好看,还不对称,正常吗?"这是来自于一位女生朋友的困惑。她说以前她很少认真观察过自己的私处,因为不太方便。但是有了男朋友后,对方告诉她她的私处长得不对称。私处,按照专业术语叫做 ...
【休闲】
阅读更多